Web ИРБИС

   6П2.151
   Г859
    Грищенко, Анатолий Федорович.
    Ионное легирование в микроэлектронике : Учеб. пособие для СПТУ / А. Ф. Грищенко. - М. : Высшая школа, 1985. - 48 с. : ил. - 0.05 р.
Одобрено УС ГК СССР по профтехобразованию
ГРНТИ 47.33
УДК:621.38.049.77(075.32)

Рубрики: Микроэлектроника--Легирование ионное--Учебные пособия ---

Ключевые слова: ионное легирование -- микроэлектроника -- учебные пособия
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)

request_decrypt("(<.>S=Микроэлектроника -- Легирование ионное -- Учебные пособия<.>)","");