66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Исследование отрицательного коронного разряда в потоке аргона, режима горения дуги с углеродным возобновляющимся катодом и получения моноокиси кремния в электродуговой установке : Отчет о НИР (промежут.) / ВСГТУ ; Рук. темы Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ.- № ГР 01.200.005366. - Улан-Удэ, 2003. - 23 с. ГРНТИ 29.27 УДК:66.04 Ключевые слова: плазменные технологии -- физика низкотемпературной плазмы -- отрицательный коронный разряд -- аргон -- режим горения дуги -- углеродный возобновляющийся катод -- моноокись кремния -- электродуговые установки -- плазмохимия -- слаботочный газовый разряд -- плазмотроны -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |
66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : Отчет о НИР (промежут.) / ВСГТУ ; Рук. темы Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. -№ ГР 01. 200. 005366. - Улан-Удэ, 2005. - 14 с. : ил. ГРНТИ 29.27 УДК:66.04 Ключевые слова: плазма -- физика плазмы -- плазмохимические технологии -- кремний -- технология кремния -- кремниевые пленки -- монооксид кремния -- электродуговые установки -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |