6П2.151 М80 Моро, Уэйн Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |