66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремневых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / ВСГТУ ; Рук. В.Б. Шагдаров. - Улан-Удэ, 2009. - 12 с. : ил. - № ГР 01.2007.10047 ГРНТИ 29.27 УДК:66.04533.9661.6 Ключевые слова: кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- тлеющие разряды атмосферного давления -- неравновесная плазма -- коронные разряды -- многоострийные катоды -- импульсы Тричела -- аргон -- газодинамические потоки -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |