6П2.151 Б825 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : Учеб. для сред. спец. учеб. заведений / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 319 с. : ил. - 1 р. Допущено МВиССО СССР ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(075.32) Ключевые слова: микроэлектронные устройства -- производство микроэлектронных устройств -- технология производства микроэлектронных устройств -- учебники Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |