Рощин, В. М. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника": в 2-х ч. / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - 2-е изд. (эл.). - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012 - . - ISBN 978-5-94774-913-7. Часть 2. - 180 с. : ил. - ). - ISBN 978-5-9963-1471-3 : Б. ц. Рекомендовано УМО ГРНТИ 47.09 Ключевые слова: технология материалов -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- оптоэлектроника -- технология элементарных веществ -- технология диэлектрических материалов -- технология углеродных материалов -- технология металлорганических соединений -- технология кристаллических материалов -- технология вспомогательных материалов -- учебные пособия Перейти к внешнему ресурсу полный текст в ЭБС bookonlime Доп.точки доступа: Силибин, Максим Викторович --- Свободных экз. нет |