Техническая механика микросистем [Электронный ресурс] : учебное пособие для студентов вузов. обучающихся по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210108 "Микросистемная техника", 210104 "Микроэлектронная и твердотельная электроника" / В. Н. Тимофеев [и др.] ; под ред. В. Н. Тимофеева. - 3-е изд. (эл.). - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. - 176 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-2115-5 : Б. ц. Рекомендовано УМО ГРНТИ 59 Ключевые слова: техническая механика микросистем -- анализ колебаний механических систем -- микромеханические приборы -- напряженно-деформированное состояние несущих элементов -- демпфирование колебаний -- электромеханика микросистем -- датчики давления -- микроакселерометры -- микромеханические гироскопы -- микромеханические зеркала с зеркальным подвесом -- инженерный анализ микросистемных устройств -- учебные пособия Перейти к внешнему ресурсу полный текст в ЭБС bookonlime Доп.точки доступа: Тимофеев, Владимир Николаевич --- Погалов, Анатолий Иванович --- Угольников, Сергей Викторович --- Андрианов, Андрей Михайлович --- Панкратов, Олег Вячеславович --- Тимофеев, Владимир Николаевич \ред.\ --- Свободных экз. нет |