531.7 Л66 Лич, Ричард К.. Инженерные основы измерений нанометровой точности : [Учебное пособие для студентов и преподавателей технических университетов] / Р. Лич ; Пер. с англ. А. В. Заблоцкого. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 400 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 390. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.). - ISBN 978-0-08-096454-6 : 1270.50 р. ГРНТИ 90.27 81.09.03 УДК:531.7(075.8)620.3(075.8) Ключевые слова: нанометровая точность -- метрология -- нанотехнологии -- инженерные основы измерений -- прецизионные средства измерений -- интерферометрия -- измерение перемещений -- средства измерений -- сканирующая зондовая микроскопия -- электронная микроскопия -- ионная микроскопия -- рельеф поверхности -- координатная метрология -- измерения сил -- измерения масс -- учебные пособия Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: чз (2) Свободны: чз (1) |