537 С302 Семенов, Александр Петрович. Пучки распыляющих ионов: получение и применение / А. П. Семенов ; Бурят. науч. центр СО РАН. Отд. физич. проблем. - Улан-Удэ : Издательство БНЦ СО РАН, 1999. - 207 с. : рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 186-206 (280 назв.). - 300 экз.. - ISBN 5-7925-0049-5 (в пер.) : 130 р. ГРНТИ 29.05 УДК:537.5621.384 Ключевые слова: пучки распыляющих ионов -- пучки ускоренных ионов -- стационарные разряды с холодным катодом -- ионные процессы -- распыление ионов в высоком вакууме -- газоразрядные ионные источники -- выращивание тонких пленок -- техника распыления мишеней ионными пучками Доп.точки доступа: Бурятский научный центр СО РАН (Улан-Удэ). Отдел физических проблем Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |