6П2.151 К779 Крапухин, Всеволод Валерьевич. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов : Учеб. для вузов по спец. "Технология спец. материалов электрон. техники" / В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов. - М. : Металлургия, 1982. - 352 с. : ил. - 1.10 р. Допущено МВиССО СССР ГРНТИ 47.09.29 УДК:621.382(075.8)621.315.592(075.8) Ключевые слова: полупроводниковые материалы -- технология полупроводниковых материалов -- термодинамика необратимых процессов -- кристаллизация -- процессы получения полупроводниковых материалов -- учебники Доп.точки доступа: Соколов, Игорь Александрович --- Кузнецов, Геннадий Дмитриевич --- Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: кх (2), аб (1) Свободны: кх (2), аб (1) |