621.38 З-382 Захаров, Николай Павлович. Механические явления в интегральных структурах : производственно-практическое издание / Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян. - М. : Радио и связь, 1992. - 144 с. : ил. - ISBN 5-256-00425-5 : 5 р. ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: интегральные схемы -- интегральные структуры -- полупроводниковые пластины -- деформация пластин -- напряжения Доп.точки доступа: Багдасарян, Альберт Вардкесович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: чз (1) Свободны: чз (1) |