6П2.151 Э192 Эдельман, Феликс Леонидович. Структура компонентов БИС : монография / Ф. Л. Эдельман ; Отв. ред. К. К. Свиташев ; Ин-т физики полупроводников СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1980. - 256 с. : ил. - 3.30 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38 Ключевые слова: БИС -- большие интегральные схемы -- кремний -- нитрид кремния -- структурный анализ компонентов БИС -- монографии Доп.точки доступа: Свиташев, К.К. \ред.\ --- Ин-т физики полупроводников СО АН СССР Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |