6П2.151 М597 Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Под ред. А. А. Сазонова. - М. : Радио и связь, 1988. - 263 с. : ил. - ISBN 5-256-00143-4 : 0.90 р. Допущено МВиССО СССР ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: микроэлектроника -- технологическое оборудование микроэлектроники -- микропроцессорное управление оборудованием -- управление технологическим оборудованием -- производство микросхем -- учебные пособия Доп.точки доступа: Сазонов, Александр Афанасьевич \ред.\ --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |