6П2.151 К934 Курносов, Анатолий Иванович. Технология производства полупроводниковых приборов : Учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики" / А.И. Курносов, В.В. Юдин. - М. : Высшая школа, 1974. - 400 с. : ил. - 1.02 р. Допущено МВиССО СССР ГРНТИ 47.33.29 УДК:621.315.592(075.8) Ключевые слова: полупроводниковые приборы -- полупроводниковые материалы -- обработка полупроводников -- фотолитография -- метод сплавления -- методы диффузии -- метод эпитаксии -- сборка приборов -- герметизация приборов -- испытания полупроводниковых приборов -- учебные пособия Доп.точки доступа: Юдин, Владимир Васильевич --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |