66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / Рук. Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. - Улан-Удэ, 2007 - . - 14 с. : ил. - № ГР 01.200.71047 ГРНТИ 29.27 УДК:66.04533.9661.6 Ключевые слова: кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- неравновесная плазма -- плазмохимические реакторы -- монооксиды кремния -- коронные разряды -- импульсы Тричела -- тлеющие разряды -- дуговые разряды Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |
66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / Рук. Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. - Улан-Удэ, 2006 - . - 12 с. - № ГР 01.200.005366 ГРНТИ 29.27 УДК:66.04533.9661.6 Ключевые слова: физика низкотемпературной плазмы -- кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- неравновесная плазма -- плазмохические реакторы -- монооксиды кремния -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |
66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / ВСГТУ ; Рук. В.Б. Шагдаров.- № ГР 01.200.005366. - Улан-Удэ, 2008. - 16 с. : ил ГРНТИ 29.27 УДК:66.04533.9661.6 Ключевые слова: физика низкотемпературной плазмы -- плазменные технологии -- плазмохимические технологии -- неравновесная плазма -- плазмохимические реакторы -- монооксиды кремния -- коронные разряды -- импульсы Тричела -- критерии подобия -- тлеющие разряды -- дуговые разряды -- кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |
66 Ф503 Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремневых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / ВСГТУ ; Рук. В.Б. Шагдаров. - Улан-Удэ, 2009. - 12 с. : ил. - № ГР 01.2007.10047 ГРНТИ 29.27 УДК:66.04533.9661.6 Ключевые слова: кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- тлеющие разряды атмосферного давления -- неравновесная плазма -- коронные разряды -- многоострийные катоды -- импульсы Тричела -- аргон -- газодинамические потоки -- отчеты о НИР Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |