6Ф2.1 О-584 Онегин, Евгений Евгеньевич. Автоматическая сборка ИС : Технол. процесс. Оборудование. Управление. Техн. зрение. Привод: Справ. пособие / Е.Е. Онегин, В.А. Зенькович, Л.Г. Битно. - Минск : Вышэйшая школа, 1990. - 383 с. : ил. - ISBN 5-339-00479-1 : 1.50 р. ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.396(035)621.38(035) Ключевые слова: интегральные схемы -- ИС -- микроэлектроника -- микросхемы -- оборудование сборки ИС -- системы управления сборки ИС -- координатные приводы -- системы технического зрения -- СТЗ -- справочные пособия Доп.точки доступа: Зенькович , Василий Александрович --- Битно, Леонид Григорьевич --- Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: кх (3) Свободны: кх (3) |