621.38 Т572 Тонкие пленки в электронике [Текст] : IX Международный симпозиум, 15-19 сентября 1998 г., г. Плёс / М-во науки и технол. РФ [и др.]. - Плёс : Ивановский государственный университет, 1998. - 185 с. ; 21 см. - 100 экз.. - ISBN 5-7807-0084 : 97 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38 Ключевые слова: электроника -- микроэлектроника -- тонкие пленки -- молекулярные пленки -- техника тонких пленок -- технология тонких пленок -- физические свойства тонких пленок -- синтетический алмаз -- ионно-плазменное распыление -- магнетронное распыление -- международные симпозиумы Доп.точки доступа: Министерство науки и технологий Российской Федерации Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации Межднародная академия информации Ивановский государственный университет Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |