6П2.151 М78 МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов : научное издание / Пер. с англ. В.Л. Кустова, В.М. Петрова, О.В. Селляховой; Под ред. Р.А. Суриса ; Под ред. П. Антонетти [и др.]. - М. : Радио и связь, 1988. - 496 с. : ил. - ISBN 5-256-00130-2 : 4.10 р. ГРНТИ 47.41 УДК:621.38 Ключевые слова: интегральные схемы -- сверхбольшие интегральные схемы -- СБИС -- МОП-СБИС -- диффузии -- кремний -- ионная имплантация кремния -- пучковый отжиг -- моделирование процессов -- МОП-транзисторы Доп.точки доступа: Антонетти, Паоло \ред.\ --- Антониадис, Димитри \ред.\ --- Даттон, Роберт \ред.\ --- Оулдхем, Уильям \ред.\ --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |