6П2.151 Т384 Технология тонких пленок : справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэнга ; Пер. с англ. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - . Т. 1. - 1977. - 662 с. : ил. - ). - 4.02 р. ГРНТИ 81.29 УДК:621.793(035) Ключевые слова: микроэлектроника -- вакуумные технологии -- тонкие пленки -- изготовление тонких пленок -- вакуумное испарение -- испарение -- испарители -- тонкопленочное производство -- справочники Доп.точки доступа: Майселл, Леон \ред.\ --- Глэнг, Рейнхард \ред.\ --- Елинсон, М.И. \пер.\ --- Смолко, Г.Г. \пер.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П2.151 Т381 Технология тонких пленок : справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; Пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко . - М. : Советское радио, 1977 - . Т. 2. - 1977. - 764 с. : ил. - 4.45 р. ГРНТИ 81.29 УДК:621.793(035) Ключевые слова: микроэлектроника -- вакуумные технологии -- тонкие пленки -- особенности тонких пленок -- структура тонких пленок -- свойства тонких пленок -- тонкопленочные резисторы -- тонкопленочные конденсаторы -- справочники Доп.точки доступа: Майссел, Л. \ред.\ --- Глэнг, Р \ред.\ --- Елинсон, М.И. \ред.\ --- Смолко, Г.Г. \ред.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |