621.38 Д952 Дюваль, Пьер. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности : научное издание / П. Дюваль ; Пер. с англ. Н.В. Васильченко [и др.] под ред. С.А. Неустроева. - М. : Мир, 1992. - 262 с. : ил. - ISBN 5-03-002002-0 : 61 р. ГРНТИ 47.29 УДК:621.38.049.77 фывфывфыв: высоковакуумное производство -- вакуум -- вакуумные насосы -- очистка полупроводниковых пластин Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: чз (1) Свободны: чз (1) |