6П2.151 Э455 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : производственно-практическое издание / Пер. с англ. под ред. Ф.П. Пресса ; Под ред. Дж. Р. Брюэра. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р. ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77 фывфывфыв: электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- литография Доп.точки доступа: Брюэр, Джордж Р. \ред.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |