6П2.151 М341 Материалы электронной техники / Отв. ред. Ф. А. Кузнецов, М. В. Мохосоев; Ин-т неорган. химии СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1983 - . Ч. 2 : Состав, структура и электрофизические свойства. - 1983. - 192 с. : ил. - 2.10 р. ГРНТИ 47 УДК:621.382 фывфывфыв: материалы электронной техники -- полупроводниковое материаловедение -- материаловедение -- оксидные пленки -- контакты металл-полупроводник -- барьер Шоттки -- электрические свойства полупроводников -- МДП-структуры -- резисты -- литография вакуумная -- сборники Доп.точки доступа: Кузнецов, Федор Андреевич \ред.\ --- Мохосоев, Маркс Васильевич \ред.\ --- Ин-т неорган. химии СО АН СССР Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |