Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
1. 66
Ф503
Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : Отчет о НИР (промежут.) / ВСГТУ ; Рук. темы Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. -№ ГР 01. 200. 005366. - Улан-Удэ, 2005. - 14 с. : ил.
ГРНТИ 29.27
УДК:66.04
Ключевые слова: плазма -- физика плазмы -- плазмохимические технологии -- кремний -- технология кремния -- кремниевые пленки -- монооксид кремния -- электродуговые установки -- отчеты о НИР
Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие
Ф503
Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : Отчет о НИР (промежут.) / ВСГТУ ; Рук. темы Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. -№ ГР 01. 200. 005366. - Улан-Удэ, 2005. - 14 с. : ил.
ГРНТИ 29.27
УДК:66.04
Ключевые слова: плазма -- физика плазмы -- плазмохимические технологии -- кремний -- технология кремния -- кремниевые пленки -- монооксид кремния -- электродуговые установки -- отчеты о НИР
Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие