Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
>
1. 6П2.151
Ч-563
Чехович, Евгений Казимирович.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : ил. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р.
ГРНТИ 47.33
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: топология изделий микроэлектроники -- контроль топологии изделий -- контрольно-измерительное оборудование -- преобразование информации -- оптико-электронные методы контроля
Доп.точки доступа: Ин-т электроники АН БССР
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
Ч-563
Чехович, Евгений Казимирович.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : ил. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р.
ГРНТИ 47.33
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: топология изделий микроэлектроники -- контроль топологии изделий -- контрольно-измерительное оборудование -- преобразование информации -- оптико-электронные методы контроля
Доп.точки доступа: Ин-т электроники АН БССР
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие