Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ

логотип

Поиск ведется по:

Общее количество найденных документов : 1

1.    6П2.151
   Т381

    Технология тонких пленок : справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; Пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко . - М. : Советское радио, 1977 - .
   Т. 2. - 1977. - 764 с. : ил. - 4.45 р.
ГРНТИ 81.29
УДК:621.793(035)
Ключевые слова: микроэлектроника -- вакуумные технологии -- тонкие пленки -- особенности тонких пленок -- структура тонких пленок -- свойства тонких пленок -- тонкопленочные резисторы -- тонкопленочные конденсаторы -- справочники
Доп.точки доступа: Майссел, Л. \ред.\ --- Глэнг, Р \ред.\ --- Елинсон, М.И. \ред.\ --- Смолко, Г.Г. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)

Найти похожие