Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 4
1. 621.38
В155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38
Ключевые слова: литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
В155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38
Ключевые слова: литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
2. 6П2.151
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
3. 6П2.151
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
4. 6П2.151
М341
Материалы электронной техники / Отв. ред. Ф. А. Кузнецов, М. В. Мохосоев; Ин-т неорган. химии СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1983 - .
Ч. 2 : Состав, структура и электрофизические свойства. - 1983. - 192 с. : ил. - 2.10 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.382
Ключевые слова: материалы электронной техники -- полупроводниковое материаловедение -- материаловедение -- оксидные пленки -- контакты металл-полупроводник -- барьер Шоттки -- электрические свойства полупроводников -- МДП-структуры -- резисты -- литография вакуумная -- сборники
Доп.точки доступа: Кузнецов, Федор Андреевич \ред.\ --- Мохосоев, Маркс Васильевич \ред.\ --- Ин-т неорган. химии СО АН СССР
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
М341
Материалы электронной техники / Отв. ред. Ф. А. Кузнецов, М. В. Мохосоев; Ин-т неорган. химии СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1983 - .
Ч. 2 : Состав, структура и электрофизические свойства. - 1983. - 192 с. : ил. - 2.10 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.382
Ключевые слова: материалы электронной техники -- полупроводниковое материаловедение -- материаловедение -- оксидные пленки -- контакты металл-полупроводник -- барьер Шоттки -- электрические свойства полупроводников -- МДП-структуры -- резисты -- литография вакуумная -- сборники
Доп.точки доступа: Кузнецов, Федор Андреевич \ред.\ --- Мохосоев, Маркс Васильевич \ред.\ --- Ин-т неорган. химии СО АН СССР
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие