Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
>
1. 6П4.52
Д182
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ 55.22.15
УДК:621.794
Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии
Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
Д182
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ 55.22.15
УДК:621.794
Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии
Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие