Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ

1.    6П2.151
   Б447
    Беляева, Нина Константиновна.
    Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям заруб. изобретений за 1971-1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1981. - 50 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ ; Вып. 12(830)). - 0.60 р.
ГРНТИ 47.33
УДК:621.385.6
Ключевые слова: травление -- плазменное травление -- СВЧ -- ВЧ -- газовые разряды -- обзоры
Доп.точки доступа: Маштакова, Антонина Ивановна ---
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: кх (1)
Свободны: кх (1)

Найти похожие

2.    6П4.52
   Д182
    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ 55.22.15
УДК:621.794
Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии
Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)

Найти похожие