Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
1. 6П2.151
Б955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве : производственно-практическое издание / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
ГРНТИ 47.33.31
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- измерения -- методы измерений -- технологический контроль размеров -- микроэлектронное производство
Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич --- Котлецов, Борис Николаевич ---
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: кх (2), аб (1)
Свободны: кх (2), аб (1)
Найти похожие
Б955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве : производственно-практическое издание / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
ГРНТИ 47.33.31
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- измерения -- методы измерений -- технологический контроль размеров -- микроэлектронное производство
Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич --- Котлецов, Борис Николаевич ---
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: кх (2), аб (1)
Свободны: кх (2), аб (1)
Найти похожие