Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
1. 66
Ф503
Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремневых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / ВСГТУ ; Рук. В.Б. Шагдаров. - Улан-Удэ, 2009. - 12 с. : ил. - № ГР 01.2007.10047
ГРНТИ 29.27
УДК:66.04533.9661.6
Ключевые слова: кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- тлеющие разряды атмосферного давления -- неравновесная плазма -- коронные разряды -- многоострийные катоды -- импульсы Тричела -- аргон -- газодинамические потоки -- отчеты о НИР
Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие
Ф503
Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремневых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) / ВСГТУ ; Рук. В.Б. Шагдаров. - Улан-Удэ, 2009. - 12 с. : ил. - № ГР 01.2007.10047
ГРНТИ 29.27
УДК:66.04533.9661.6
Ключевые слова: кремний -- кремниевые пленки солнечного качества -- тлеющие разряды атмосферного давления -- неравновесная плазма -- коронные разряды -- многоострийные катоды -- импульсы Тричела -- аргон -- газодинамические потоки -- отчеты о НИР
Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\ --- ВСГТУ
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие