Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ

логотип

Поиск ведется по:

Отсортировать найденные документы по: авторузаглавиюгоду изданиятипу документа

Общее количество найденных документов : 2

1.    621.38
   Г74
    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. - ISBN 5-256-00699-1 : 4 р.
ГРНТИ 47.13.11
УДК:621.38.049.77(035)

Рубрики: Микроэлектроника--Микроэлектронные устройства--Технология--Справочники ---
Ключевые слова: микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- справочники
Экземпляры всего: 7
Mесто хранения: аб (5), чз (1), зал ППС (1)
Свободны: аб (5), чз (1), зал ППС (1)

Найти похожие
2.    621.38
   Г74
    Готра, Зенон Юрьевич.
    Справочник по технологии микроэлектронных устройств : справочное издание / З. Ю. Готра. - Львов : Каменяр, 1986. - 287 с. : ил. - 1 р.
ГРНТИ 47.13.11
УДК:621.38.049.77(035)

Рубрики: Микроэлектроника--Микроэлектронные устройства--Технология--Справочники ---
Ключевые слова: микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- полупроводниковые материалы -- литография -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- справочники
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (1), аб (1)
Свободны: зал ППС (1), чз (1), аб (1)

Найти похожие