Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
>
1. 621.38
П781
Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ 47.13
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников
Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ --- ФТИАН
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
П781
Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ 47.13
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников
Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ --- ФТИАН
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие