Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ

логотип

Поиск ведется по:

Общее количество найденных документов : 1

1.    621.38
   Б435

    Белов, Игорь Александрович.
    Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - ISBN 5-7325-0001-4 : 5 р.
ГРНТИ 47.33.31
УДК:621.38.049.77532
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- полупроводниковые приборы -- моделирование гидромеханических процессов -- гидродинамика -- теплообмен -- монографии
Доп.точки доступа: Шеленшкевич, Владимир Александрович --- Шуб, Леонид Исаакович ---
Экземпляры всего: 10
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (1), аб (8)
Свободны: зал ППС (1), чз (1), аб (8)

Найти похожие