Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
>
1. 6П2.151
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
М80
Моро, Уэйн
Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38.049.77
Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие