Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ

логотип

Поиск ведется по:

Общее количество найденных документов : 1

1.    6п2.151
   Ч-689

    Чистяков, Ю. Д.
    Локальное травление в процессах изготовления полупроводниковых приборов на арсениде галлия : (Аналит. обзор) / Ю. Д. Чистяков, О. С. Булатов. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1980. - 49 с. : ил. - (Полупроводниковые приборы ; вып. 3(708)). - 0.30 р.
ГРНТИ 55.22
УДК:621.794621.382
Ключевые слова: локальное травление -- полупроводниковые приборы -- арсенид галлия -- обработка поверхностей -- аналитические обзоры
Доп.точки доступа: Булатов, О.С. ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)

Найти похожие