Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
>
1. 621.38
В155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38
Ключевые слова: литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
В155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
ГРНТИ 47
УДК:621.38
Ключевые слова: литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты
Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие